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臨界尺寸掃描電子顯微鏡

簡要描述:日立S-9300是一款高性能的掃描電子顯微鏡(SEM),用于高精度成像和分析。具體介紹如下:

技術(shù)規(guī)格與特性:
日立S-9300能實現(xiàn)高達1000至300000倍的放大,提供高分辨率成像。
日立S-9300具有3納米的測量重復(fù)性和分辨率,適用于精確的樣品分析

  • 產(chǎn)品型號:S-9300
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新日期:2025-04-29
  • 訪  問  量:931

詳細介紹

Hitachi S-9300 是一款 CD SEM(臨界尺寸掃描電子顯微鏡

用于測量半導(dǎo)體工藝中的精細圖案尺寸.

以下是主要規(guī)格:

  • 制造商: Hitachi

  • 型號: S-9300

  • 晶圓尺寸:200mm

  • 電子光學(xué)系統(tǒng)

    • 電子槍:肖特基發(fā)射源

    • 加速電壓:500V至1600V,10V步進

    • 探頭電流:4~24pA,通過法拉第杯自動設(shè)置和測量

    • 電磁透鏡:帶升壓電壓的 3 級電磁透鏡系統(tǒng)

    • 物鏡:4 個開口咔嗒停止,加熱孔徑可在真空外選擇/調(diào)節(jié)

    • 掃描線圈:2級電磁偏轉(zhuǎn)

    • 散光校正:通過 8 極電磁線圈

    • 放大倍率:1000 倍至 >300000 倍

    • 現(xiàn)場控制方法:在所有電壓下連續(xù)開啟樣品放電

    • 晶圓成像能力:8英寸(或12英寸)晶圓的整個表面

    • 景深:80000倍放大倍率下>= 1.0um

    • 分辨率:3nm (800V) 緩速/升壓模式

  • 光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)

    • 圖像:單色,使用CCD相機

    • 放大倍率:110倍

    • 晶圓成像:X 覆蓋范圍為 5 – 295mm,Y 覆蓋范圍為 5 – 195mm,缺口向下

    • 視場角:1.2mm

  • 工作站型號: HP B180L (9GB)

  • 操作系統(tǒng):Unix 版本 HP-UX 10.20 或更高版本

  • 軟件版本:14.71 或更高版本

它還配備了激光干涉儀平臺,可實現(xiàn)超高目標(biāo)尋址精度、迷你環(huán)境和兼容 FOUP 的負載端口.可以支持高級自動化場景,例如通過自動物料搬運系統(tǒng)(AMHS)進行FOUP交付和單個晶圓識別.


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